對(duì)消費(fèi)級(jí)器件的簡(jiǎn)單調(diào)查發(fā)現(xiàn),跨軸靈敏度常常在1%到5%范圍內(nèi)。利用以上關(guān)系式,可知等效軸到軸對(duì)齊誤差為0.57°到2.87°。
不過(guò)也可用毫弧度為單位來(lái)定義,相當(dāng)于0.057°。工業(yè)級(jí)IMU的精度通常要高得多。我們也可利用此關(guān)系將工業(yè)級(jí)IMU的軸到軸對(duì)齊誤差0.018°轉(zhuǎn)換為等效跨軸靈敏度0.031%。
CAS
= sin(A2A_MAE)
= sin(0.018°)
= 0.00031
= 0.031%
工業(yè)級(jí)IMU ADIS16489的所有慣性傳感器不是位于一個(gè)芯片上,盡管有這個(gè)明顯的缺點(diǎn),但其性能仍要比最佳消費(fèi)級(jí)器件高出大約32倍。
為了解正交誤差的影響,假設(shè)一個(gè)加速度計(jì)軸指向正上方,器件恰好處于水平狀態(tài)。加速度計(jì)在此z軸上測(cè)量重力的總影響。如果其他兩個(gè)軸完全正交,那么它們不會(huì)測(cè)量到任何重力矢量。然而,若有正交誤差,其他兩個(gè)水平軸就會(huì)測(cè)量到重力矢量的一部分。例如,若器件的跨軸靈敏度為1%,其對(duì)重力的等效響應(yīng)將是 10 mg,這相當(dāng)于0.6°的等效對(duì)齊誤差。反之,如果第一個(gè)軸不與水平框架正交,它便測(cè)不到完整的重力矢量。
正交誤差是加速度計(jì)總誤差中特別穩(wěn)定的成分,因此可通過(guò)一次性校準(zhǔn)來(lái)校正。為了確定一對(duì)加速度計(jì)軸的正交誤差,須讓加速度計(jì)在所有可能的90°方向空間中旋轉(zhuǎn),并測(cè)量各軸對(duì)重力的靜態(tài)響應(yīng)。這可以利用精密萬(wàn)向節(jié)頭或在已知正交表面上進(jìn)行。
將器件安裝到PCB之后,要通過(guò)校準(zhǔn)消除所有工作條件下的正交誤差是很困難的。慣性校準(zhǔn)要求在器件經(jīng)歷受控運(yùn)動(dòng)模式的同時(shí)觀測(cè)各傳感器響應(yīng)。為高效實(shí)現(xiàn)此類(lèi)運(yùn)動(dòng)模式,常常需要高度專(zhuān)業(yè)化的設(shè)備和經(jīng)驗(yàn)。與已經(jīng)預(yù)校準(zhǔn)的工業(yè)級(jí)IMU不同,安裝在PCB上的每個(gè)消費(fèi)級(jí)MEMS器件都需要針對(duì)其他傳感器、環(huán)境表現(xiàn)和溫度進(jìn)行校準(zhǔn)。
在分立器件安裝到微型PCB上堅(jiān)固耐用的模塊中之后,包括三個(gè)陀螺儀軸和三個(gè)加速度計(jì)軸的工業(yè)級(jí)IMU在制造中利用校準(zhǔn)步驟實(shí)現(xiàn)高超性能。這種工廠校準(zhǔn)不僅能識(shí)別和補(bǔ)償MEMS器件本身的正交誤差,還能補(bǔ)償裝配相關(guān)的偏斜。因此,與裝配偏差、跨軸誤差和溫度相關(guān)的誤差降至最小。ADIS16489工廠校準(zhǔn)可將平臺(tái)穩(wěn)定、導(dǎo)航和機(jī)器人應(yīng)用中的軸對(duì)齊誤差降至最低。ADIS16489內(nèi)置一個(gè)數(shù)字三軸陀螺儀和一個(gè)三軸加速度計(jì),陀螺儀軸到軸對(duì)齊誤差僅有±0.018°,加速度計(jì)軸到軸誤差為±0.035°。除了高性能傳感器參數(shù)以外,ADIS16489還利用聚對(duì)二甲苯涂層作為內(nèi)部電路的防潮層。
(來(lái)源:亞德諾半導(dǎo)體)